在電子産品製造中，靜電放電往往會損傷器件，甚至使器件失效，造成嚴(yán)重?fù)p失，因此SMT生産中的靜電防護(hù)非常重要。本刊分彆邀請北京、上海的兩位專傢撰文介紹與分析電子産品製造中的靜電産生源及靜電防護(hù)原理，較詳細(xì)地介紹瞭SMT生産中的一些靜電防護(hù)技術(shù)基礎(chǔ)與相應(yīng)措施。供大傢蔘考學(xué)習(xí)

1．靜電和靜電的危害

     靜電是一種電能，牠存留於物體錶麵，是正負(fù)電荷在局部範(fàn)圍內(nèi)失去平衡的結(jié)果，是通過電子或離子的轉(zhuǎn)換而形成的。靜電現(xiàn)象是電荷在産生和消失過程中産生的電現(xiàn)象的總稱。如摩擦起電、人體起電等現(xiàn)象。

    隨著科技髮展，靜電現(xiàn)象已在靜電噴塗、靜電紡織、靜電分選、靜電成像等領(lǐng)域得到廣泛的有效應(yīng)用。但在另一方麵，靜電的産生在許多領(lǐng)域會帶來重大危害和損失。例如在第一箇阿波羅載人宇宙飛船中，由於靜電放電導(dǎo)緻爆炸，使三名宇航員喪生；在火藥製造過程中由於靜電放電(ESD)，造成爆炸傷亡的事故時有髮生。

    在電子工業(yè)中，隨著集成度越來越高，集成電路的內(nèi)絶緣層越來越薄，互連導(dǎo)線寬度與間距越來越小，例如CMOS器件絶緣層的典型厚度約爲(wèi)0．1μm，其相應(yīng)耐擊穿電壓在80-100V；VMOS器件的絶緣層更薄，擊穿電壓在30V。而在電子産品製造中以及運(yùn)輸、存儲等過程中所産生的靜電電壓遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過MOS器件的擊穿電壓，往往會使器件産生硬擊穿或軟擊穿(器件局部損傷)現(xiàn)象，使其失效或嚴(yán)重影響産品的可靠性。

 爲(wèi)瞭控製和消除ESD，美國、西歐和日本等髮達(dá)國傢均製定瞭國傢、軍用和企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)或規(guī)定。從靜電敏感元器件的設(shè)計、製造、購買、入庫、檢驗、倉儲、裝配、調(diào)試、半成品與成品的包裝、運(yùn)輸?shù)染邢鄳?yīng)規(guī)定，對靜電防護(hù)器材的製造使用和管理也有較嚴(yán)格的規(guī)章製度要求。我國也蔘照國際標(biāo)準(zhǔn)製定瞭軍用和企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。例如有航天部、機(jī)電部、石油部等標(biāo)準(zhǔn)。

2．靜電敏感器件(SSD)

    對靜電反應(yīng)敏感的器件稱爲(wèi)靜電敏感元器件(SSD)。靜電敏感器件主要是指超大規(guī)模集成電路，特彆是金屬化膜半導(dǎo)體(MOS電路)。錶1爲(wèi)靜電敏感器件的分級錶?？筛鶕?jù)SSD分級錶，針對不衕的SSD器件，採取不衕的靜電防護(hù)措施。

3．電子産品製造中的靜電源

(1) 人體的活動，人與衣服、鞋、襪等物體之間的摩擦、接觸和分離等産生的靜電是電子産品製造中主要靜電源之一。人體靜電是導(dǎo)緻器件産生硬(軟)擊穿的主要原因。人體活動産生的靜電電壓約0．5-2KV。另外空氣濕度對靜電電壓影響很大，若在榦燥環(huán)境中還要上陞1箇數(shù)量級。錶2爲(wèi)相對濕度對與人體活動帶電的關(guān)繫。

     人體帶電後觸摸到地線，會産生放電現(xiàn)象，人體就會産生不衕程度的電擊感反應(yīng)，其反應(yīng)的程度稱爲(wèi)電擊感度。錶3爲(wèi)不衕靜電壓放電過程中人體的電擊感度。

(2) 化纖或棉製工作服與工作颱麵、坐椅摩擦?xí)r，可在服裝錶麵産生6000V以上的靜電電壓，併使人體帶電，此時與器件接觸時，會導(dǎo)緻放電，容易損壞器件。

(3) 橡膠或塑料鞋底的絶緣電阻高達(dá)1013Ω，當(dāng)與地麵摩擦?xí)r産生靜電，併使人體帶電。

(4) 樹脂、漆膜、塑料膜封裝的器件放人包裝中運(yùn)輸時，器件錶麵與包裝材料摩擦能産生幾百伏的靜電電壓，對敏感器件放電。

(5) 用PP(聚丙烯)、PE(聚乙烯)、PS(聚內(nèi)乙烯)、PVR(聚胺脂)、PVC和聚脂、樹脂等高分子材料製作的各種包裝、料盒、週轉(zhuǎn)箱、PCB架等都可能因摩擦、衝擊産生1-3．5KV靜電電壓，對敏感藉件放電。

(6) 普通工作颱麵，受到摩擦産生靜電。

(7) 混凝土、打臘拋光地闆、橡膠闆等絶緣地麵的絶緣電阻高，人體上的靜電荷不易洩漏。

(8) 電子生産設(shè)備和工具方麵：例如電烙鐵、波峰焊機(jī)、再流焊爐、貼裝機(jī)、調(diào)試和檢測等設(shè)備內(nèi)的高壓變壓器、交／盲流電路都會在設(shè)備蔔感應(yīng)齣靜電。如果設(shè)備靜電洩放措施不好，都會引起敏感器件在製造過程中失效。烘箱內(nèi)熱空氣循環(huán)流動與箱體摩擦、CO2低溫箱冷卻箱內(nèi)的CO2蒸汽均會可産生大量的靜電荷。

4．靜電防護(hù)原理

電子産品製造中，不産生靜電是不可能的。産生靜電不是危害所在，其危害所在於靜電積聚以及由此産生的靜電放電。靜電防護(hù)的核心是“靜心消除”。

靜電防護(hù)原理：

(1)對可能産生靜電的地方要防止靜電積聚。採取措施在安全範(fàn)圍內(nèi)。

(2)對已經(jīng)存在的靜電積聚迅速消除掉，卽時釋放。

5．靜電防護(hù)方法

(1) 使用防靜電材料：金屬是導(dǎo)體，因?qū)w的漏放電流大，會損壞器件。另外由於絶緣材料容易産生摩擦起電，因此不能採用金屬和絶緣材料作防靜電材料。而是採用錶麵電阻l×105Ω·cm以下的所謂靜電導(dǎo)體，以及錶麵電阻1×105-1×108Ω·cm的靜電亞導(dǎo)體作爲(wèi)防靜電材料。例如常用的靜電防護(hù)材料是在橡膠中混入導(dǎo)電碳黑來實現(xiàn)的，將錶麵電阻控製在1×106Ω·cm以下。

(2) 洩漏與接地：對可能産生或已經(jīng)産生靜電的部位進(jìn)行接地，提供靜電釋放通道。採用埋大地線的方法建立“獨(dú)立”地線。使地線與大地之間的電阻＜10Ω。

      靜電防護(hù)材料接地方法：將靜電防護(hù)材料(如於作颱麵墊、地墊、防靜電腕帶等)通過1MΩ的電阻接到通曏獨(dú)立大地線的導(dǎo)體上(蔘見SJ／T10630-1995)。串接1MΩ電阻是爲(wèi)瞭確保對地洩放＜5mA的電流，稱爲(wèi)軟接地。設(shè)備外殼和靜電屏蔽罩通常是直接接地，稱爲(wèi)硬接地。

(3) 導(dǎo)體帶靜電的消除：導(dǎo)體上的靜電可以用接地的方法使靜電洩漏到大地。放電體蔔的電壓與釋放時間可用下式錶示：

UT=U0L1/RC 式中 UT-T時刻的電壓(V) U0一起始電壓(V) R-等效電阻(Ω) C-導(dǎo)體等效電容(pf)

      一般要求在1秒內(nèi)將靜電洩漏。卽1秒內(nèi)將電壓降至1OOV以下的安全區(qū)。這樣可以防止洩漏速度過快、洩漏電流過大對SSD造成損壞。若U0=500V，C=200pf，想在1秒內(nèi)使UT達(dá)到100V，則要求R=1．28×109Ω。因此靜電防護(hù)繫統(tǒng)中通常用1MΩ的限流電阻，將洩放電流限製在5mA以下。這是爲(wèi)操作安全設(shè)計的。如果操作人員在靜電防護(hù)繫統(tǒng)中，不小心觸及到220V工業(yè)電壓，也不會帶來危險。

(4) 非導(dǎo)體帶靜電的消除：對於絶緣體上的靜電，由於電荷不能在絶緣體上流動，因此不能用接地的方法消除靜電?？蓲裼靡韵麓胧?/span>

(a)使用離子風(fēng)機(jī)—離子風(fēng)機(jī)産生正、負(fù)離子，可以中和靜電源的靜電?？稍O(shè)置在空間和貼裝機(jī)貼片頭附近。

(b)使用靜電消除劑—靜電消除劑屬於錶麵活性劑?？捎渺o電消除劑檫洗儀器和物體錶麵，能迅速消除物體錶麵的靜電。

(c)控製環(huán)境濕度—增加濕度可提高非導(dǎo)體材料的錶麵電導(dǎo)率，使物體錶麵不易積聚靜電。例如北方榦燥環(huán)境可採取加濕通風(fēng)的措施。

(d)採用靜電屏蔽—對易産生靜電的設(shè)備可採用屏蔽罩(籠)，併將屏蔽罩（籠）有效接地。

(5) 工藝控製法：爲(wèi)瞭在電子産品製造中盡量少的産生靜電,控製靜電荷積聚，對已經(jīng)存在的靜電積聚迅速消除掉，卽時釋放，應(yīng)從廠房設(shè)計、設(shè)備安裝、操作、管理製度等方麵採取有效措施。

6．靜電防護(hù)器材

(1) 人體防靜電繫統(tǒng)包括防靜電腕帶、工作服、帽、手套、鞋、襪等。

(2) 防靜電地麵包括防靜電水磨石地麵、防靜電橡膠地麵、PVC防靜電塑料地闆、防靜電地毯、防靜電活動地闆等。

(3) 防靜電操作繫列：包括防靜電：I：作颱墊、防靜電包裝袋、防靜電物流小車、防靜電烙鐵及工具等。

7．靜電測量儀器．

(1) 靜電場測試儀：用於測量颱麵、地麵等錶麵電阻值。平麵結(jié)構(gòu)場閤和非平麵場閤要選擇不衕規(guī)格的測量儀。

(2) 腕帶測試儀：測量腕帶是否有效。

(3) 人體靜電測試儀：用於測量人體攜帶的靜電量，人體雙腳之間的阻抗，測量人體之間的靜電差,腕帶、接地插頭、工作服等是否阻護(hù)有效。還可以作爲(wèi)入門放電，把人體靜電隔在車間之外。

(4) 兆歐錶：用於測量所有導(dǎo)電型、抗靜電型及靜電洩放型錶麵的阻抗或電阻。

8．電子産品製造中防靜電技術(shù)指標(biāo)要求

(1) 防靜電地極接地電阻＜10Ω。

(2) 地麵或地墊：錶麵電阻值105-1010Ω;摩擦電壓＜100V。

(3) 牆壁：電阻值5×104-109Ω。

(4) 工作颱麵或墊：錶麵電阻值106-109Ω；摩擦電壓＜100V；對地繫統(tǒng)電阻106-108Ω。

(5) 工作椅麵對腳輪電阻106-108Ω。

(6) 工作服、帽、手套摩擦電壓＜300V；鞋底摩擦電壓＜100V。

(7) 腕帶連接電纜電阻1MΩ；佩帶腕帶時繫統(tǒng)電阻1-1OMΩ。腳跟帶(鞋束)繫統(tǒng)電阻0．5×105-108Ω。

(8) 物流車颱麵對車輪繫統(tǒng)電阻106-109Ω。

(9) 料盒、週轉(zhuǎn)箱、PCB架等物流傳遞器具一錶麵電阻值103-108Ω;摩擦電壓＜100V。

(10) 包裝代、盒一摩擦電壓＜100V。

(11) 人體綜閤電阻106-108Ω。

9 防靜電措施及靜電作業(yè)區(qū)(點(diǎn))的一般要求

   SMT生産設(shè)備必鬚接地良好，貼裝機(jī)應(yīng)採用三相無線製接地法併獨(dú)立接地。生産場所的地麵、工作颱麵墊、坐椅等均應(yīng)符閤防靜電要求。車間內(nèi)保持恆溫、恆濕的環(huán)境。應(yīng)配備防靜電料盒、週轉(zhuǎn)箱、PCB架、物流小車、防靜電包裝帶、防靜電腕帶、防靜電烙鐵及工具等設(shè)施。

(1) 根據(jù)防靜電要求設(shè)置防靜電區(qū)域，併有明顯的防靜電警示標(biāo)誌。按作業(yè)區(qū)所使用器件的靜電敏感程度分成1、2、3級，根據(jù)不衕級彆製訂不衕的防護(hù)措施。

1級靜電敏感程度範(fàn)圍：0-1999V
2級靜電敏感程度範(fàn)圍：2000-3999V
3級靜電敏感程度範(fàn)圍：4000-15999V

16000V以上是非靜電敏感程産品。

(2) 靜電安全區(qū)(點(diǎn))的室溫爲(wèi)23±3℃，相對濕度爲(wèi)45-70％RH。禁止在低於30％的環(huán)境內(nèi)操作SSD(靜電敏感元器件)。

(3) 定期測量地麵、桌麵、週轉(zhuǎn)箱等錶麵電阻值。

(4) 靜電安全區(qū)(點(diǎn))的工作颱上禁止放置非生産物品，如餐具、茶具、提包、毛織物、報紙、橡膠手套等。

(5) 工作人員進(jìn)入防靜電區(qū)域，需放電。操作人員進(jìn)行操作時，必鬚穿工作服和防靜電鞋、襪。每次上崗操作前必鬚作靜電防護(hù)安全性檢查,閤格後纔能生産。

(6) 操作時要戴防靜電腕帶，每天測量腕帶是否有效。

(7) 測試SSD時應(yīng)從包裝盒、管、盤中取一塊，測一塊,放一塊，不要堆在桌子上。經(jīng)測試不閤格器件應(yīng)退庫。

(8) 加電測試時必鬚遵循加電和去電順序：低電壓→高電壓→信號電壓的順序進(jìn)行。去電順序與此相反。衕時註意電源極性不可顛倒，電源電壓不得超過額定值。

(9) 檢驗人員應(yīng)熟悉SSD的型號、品種、測試知識，瞭解靜電保護(hù)的基本知識。

10．靜電敏感元器件(SSD)運(yùn)輸、存儲、使用要求

(1) SSD運(yùn)輸過程中不得掉落在地，不得任意脫離包裝。

(2) 存放SSD的庫房相對濕度：30-40％RH。

(3) SSD存放過程中保持原包裝，若鬚更換包裝時，要使用具有防靜電性能的容器。

(4) 庫房裡，在放置SSD器件的位置上應(yīng)貼有防靜電專用標(biāo)籤。

(5) 髮放SSD器件時應(yīng)用目測的方法，在SSD器件的原包裝內(nèi)清點(diǎn)數(shù)量。

(6) 對EPROM進(jìn)行寫、擦及信息保護(hù)操作時，應(yīng)將寫入器／擦除器充分接地，要帶防靜電手鐲。

(7) 裝配、焊接、修闆、調(diào)試等操作人員都必鬚嚴(yán)格按照靜電防護(hù)要求進(jìn)行操作。

(8) 測試、檢驗閤格的印製電路闆在封裝前應(yīng)用離子噴槍噴射一次，以消除可能積聚的靜電荷。

11．防靜電工作區(qū)的管理與維護(hù)

(1) 製訂防靜電管理製度，併有專人負(fù)責(zé)。

(2) 備用防靜電工作服、鞋、手鐲等箇人用品以備外來人員使用。

(3) 定期維護(hù)、檢查防靜電設(shè)施的有效性。

(4) 腕帶每週(或天)檢查一次。

(5) 桌墊、地墊的接地性、靜電消除器的性能每月檢查一次。

(6) 防靜電元器件架、印製闆架、週轉(zhuǎn)箱；運(yùn)輸車、桌墊、地墊的防靜電性能每六箇月檢查次。

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